abl8000气浮平台
1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)4行程达1米5直线编码器或激光干涉仪反馈6可集成包括花岗岩的xy子系统行程≤1000mm精度±0.50um重复定位精度±0.20um直线度±0.40um平面度±0.40um相关文档下载
abl9000气浮平台
1世上**性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)3行程达1.2米x1.2米4y轴双直线电机驱动5直线编码器或激光干涉仪反馈6主动控制偏转行程≤1200mm精度±0.50um重复定位精度±0.10um直线度±0.50um平面度±0.50um相关文档下载
ahl9000直线电机平台
1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承3行程达1.2米x1.2米4双直线电机驱动步进轴5直线编码器或激光干涉仪反馈行程≤350mm精度±1.0um重复定位精度±0.20um直线度±0.60um平面度±0.60um相关文档下载
abg10000气浮平台
1气浮导轨实现超平滑运动2所有轴都预加载荷3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动3行程达1mx1m4非接触直线编码器(光栅)5可选z轴,隔振,机械底座和控制箱6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．行程≤1000mm精度±2um重复定位精度±0.5um直线度±1um平面度±1um相关文档下载
abrs旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计2无刷无槽伺服电机直接驱动3突出的速度稳定性（电机无接头效应）4卓越的运动性能,误差小,无抖动5直联高精度旋转编码器6扁平结构设计7无机械接触台面直径128.1-278.1mm分辨率0.18-0.036arcsec双向重复定位精度<1arcsec相关文档下载
abrt旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计2无刷无槽伺服电机直接驱动，高扭拒输出3突出的速度稳定性（电机无接头效应）4卓越的运动性能,误差小,无抖动5直联高精度旋转编码器6超大的空心轴径，无机械接触台面直径100-200mm分辨率0.055-0.027arcsec双向重复定位精度<1arcsec相关文档下载
planarhd气浮平台
1**2m/s扫描速度和5g加速度的输出2最快的转向和最小的稳定时间3主动偏转控制4直线光栅或激光干涉仪反馈5行程1.2mx1.2m行程≤1200mm精度±300nm重复定位精度±50nm分辨率0.25nm

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北京微纳通科技有限公司（华南区）
覃献文
15338897721